詳述

frame-PECVD工藝 :
● 適應125和156硅片
● 匹配多種印刷線

特點 :
● 上料:對接工藝設備或疊片盒
● 下料:疊片盒
● 自由分檔功能
● 下料疊片盒自動切換功能
● 可選支持AOI正反面檢測,IV正反面檢測
● 可選雙軌和單軌設計
● 可選支持MES功能和遠程診斷功能
● 可選智能IGV接口
● 智能機器,OEE統計和能源消耗分析功能

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