詳述

frame-PECVD工藝:
● 適合125“/156“硅片
● 兼容不同尺寸的石墨舟的PECVD工藝

特點:
● 上料和下料 : 花籃 or Stack
● 輸出 : 石墨舟/石墨框
● 實時溫度監控
● 可選在線色差檢測
● 可選支持MES功能和遠程診斷功能
● 可選智能IGV接口
● 智能機器,OEE統計和能源消耗分析功能

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