詳述

frame-ks

工藝:
● 適合125“/156“硅片
● 兼容不同尺寸的石英舟

 

 

特點:
● 上下料:花籃
● 輸出:石英舟
● 可選方阻檢測
● 可選支持MES功能和遠程診斷功能
● 可選智能IGV接口
● 智能機器,OEE統計和能源消耗分析功能

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